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采用水浴法,在ITO玻璃表面生长出具有微-纳复合结构的ZnO薄膜,分别用高分辨扫描电镜（SEM）和接触角测量仪对其表面形貌和表面的浸润性进行了表征。实验结果表明,随着HF使用量的增加,ZnO薄膜的微观结构由球形逐渐过渡到花瓣状,使用三甲基氯硅烷修饰后,其表面接触角由（70±0.5）°逐渐增大到（141.5±0.5）°,同时也对氢氟酸（HF）对ZnO生长的调控机理进行了探讨。