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简要概述了光刻设备中一种汞灯调节机构的研制,重点介绍了该机构的工作原理和技术特点.
大功率汞灯调节机构的研制
【摘 要】
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简要概述了光刻设备中一种汞灯调节机构的研制,重点介绍了该机构的工作原理和技术特点.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年5期
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