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硒化氢可用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气。由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重要的红外光学材料之一,是高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料。介绍了硒化氢的几种制备方法并对每种方法做了评价。
硒化氢的性质及制备方法
【摘 要】
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硒化氢可用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气。由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重要的红外光学材料之一,是高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料。介绍了
【机 构】
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中昊光明化工研究设计院有限公司
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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2012年06期
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