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随着纳米科技的高速发展,对作为微观表征和操纵技术的扫描探针显微镜(SPM)的精度提出了更高的要求.而压电陶瓷管的非线性(回滞、蠕变等)问题却严重影响了其扫描精度,特别在大范围扫描模式下更引起了特征扭曲.本文针对SPM压电陶瓷管非线性难题,提出了一种基于DSP技术,并利用其强大的数据处理能力在线实现了SPM压电陶瓷管非线性校正的方法.实验结果验证了本方法的有效性.