【摘 要】
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提出了一种基于MEMS技术的红外动态图像生成技术。利用热传导方程,建立了可见光/红外图像转换膜的理论模型;介绍了可见光/红外图像转换膜制作的工艺流程,制作了一张像元数为5
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提出了一种基于MEMS技术的红外动态图像生成技术。利用热传导方程,建立了可见光/红外图像转换膜的理论模型;介绍了可见光/红外图像转换膜制作的工艺流程,制作了一张像元数为512×512、像元尺寸为35μm的可见光/红外图像转换膜。并利用转换膜构造了红外动态图像生成装置,通过实验对红外动态图像生成装置的性能进行了研究。利用MEMS技术制作的可见光/红外图像转换膜可以工作在红外3~5μm和8~12μm两个波段。根据实验测得红外图像生成装置的空间分辨率为14 lp/mm,在3~5μm波段,所生成红外图像的温度范围为250~440 K,在8~12μm波段,所生成红外图像的温度范围为250~400 K。
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