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电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用，但硅杯开头对传感器的灵敏度影响较大，本文提出了一种新的硅杯开头，并通过分析计算，设计出了改进型的电容式集成压力传感器。
改进型电容压力传感器的设计
【摘 要】
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电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用，但硅杯开头对传感器的灵敏度影响较大，本文提出了一种新的硅杯开头，并通过分析计算，设计出了改进型的电容式集成压力传感
【机 构】
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辽宁大学信息科学与技术学院
【出 处】
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辽宁大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2000年2期
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