软X射线-真空紫外波段光谱光源研究

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Richard0936

【摘要】

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介绍长春光学精密机械与物理研究所进行的软X射线-真空紫外波段光谱光源研究工作. 研制成功的壁稳氩弧光源光谱辐射稳定性和重复性达±0.3%, 可作标准辐射源, 用于真空紫

【作者】

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陈波尼启良曹健林李福田陈星旦

【机构】

：

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

【出处】

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光谱学与光谱分析

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

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软X射线光谱强度激光等离子体真空紫外原子长春光学精密机械与物理研究所绝对辐射定标波段光源高亮度 soft X-ray vacuum ultr

【基金项目】

：

国家自然科学基金，中国科学院知识创新工程项目

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介绍长春光学精密机械与物理研究所进行的软X射线-真空紫外波段光谱光源研究工作. 研制成功的壁稳氩弧光源光谱辐射稳定性和重复性达±0.3%, 可作标准辐射源, 用于真空紫外波段仪器光谱强度绝对辐射定标. 研制成功的潘宁(Penning)光源、双等离子体光源和空心阴极光源, 可以覆盖从十几个nm至几十nm波段范围, 光谱辐射稳定性和重复性达±1.0%, 提供不同工作气体在该波段的原子和离子线谱, 用于光谱仪器的波长定标. 所研制的激光等离子体光源, 尤其是近期研制成功的无污染微液滴喷射靶激

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