【摘 要】
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文章针对双光路膜厚监控原理，设计了双锁相放大电路、复合滤波处理和数字判断等一套微弱信号优化处理方案，并在VC＋＋6.0集成开发环境下进行自动化监控。实验结果表明：膜厚监控系统
【机 构】
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西安工业大学数理系,西安交通大学理学院,西安工程大学计算机学院
【基金项目】
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陕西省教育厅专项科研计划资助项目(06JK283);兵器工业科研基金资助项目(ZZ9682-3)
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文章针对双光路膜厚监控原理，设计了双锁相放大电路、复合滤波处理和数字判断等一套微弱信号优化处理方案，并在VC＋＋6.0集成开发环境下进行自动化监控。实验结果表明：膜厚监控系统的低反射率膜的反射率显示分辨极限为0.02%，膜厚控制的标准偏差为0.55%;软件控制系统工作可靠，界面设计友好，人机互动性强，图标和状态指示器等特色界面丰富了界面功能和方便了用户。在对监控信号的高稳定和高精度检测基础上用VC实现了镀膜全部工艺过程的自动化，并且性能价格比优于同类镀膜设备系统。
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