【摘 要】
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为获得高性能的柔性透明导电薄膜,采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO（30nm）/Ag/STO（30nm）复合结构透明导电薄膜.分别对不同中间Ag层厚度薄膜的结构、光学和电学性质进行
【机 构】
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平顶山工业职业技术学院自动化与信息工程学院,天津大学电气自动化与信息工程学院,天津大学力学系天津市非线性动力学与控制重点实验室,天津大学微电子学院
【基金项目】
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国家自然科学基金（Nos.61701338,11502162）资助
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为获得高性能的柔性透明导电薄膜,采用磁控溅射技术在柔性PC衬底上制备出了STO（30nm）/Ag/STO（30nm）复合结构透明导电薄膜.分别对不同中间Ag层厚度薄膜的结构、光学和电学性质进行了研究.研究发现：随着中间Ag层厚度的增加,可见光区的平均透过率先增大后减小,电阻率和方块电阻持续减小;当中间Ag层厚度为11nm时,复合结构透明导电薄膜具有最佳的品质因子为14.23×10^-3Ω^-1,此时,其可见光区平均透过率为82%,方块电阻为9.2Ω/sq..
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