【摘 要】
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微光器件制造过程中,金属玻璃封接壳体的清洗和处理的常规工艺流程如下:去油——化学抛光——检漏——去油——真空除气——流入装配工序。这种传统工艺的缺点主要有两点:一
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微光器件制造过程中,金属玻璃封接壳体的清洗和处理的常规工艺流程如下:去油——化学抛光——检漏——去油——真空除气——流入装配工序。这种传统工艺的缺点主要有两点:一是,除气前去油工艺,金属表面未能获得新鲜的表面原子层,壳体表面吸附的各种重金属离子,各种气体及氧化物难于彻底去净;二是,真空除气处理过程
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