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介绍了13．9nm马赫贞德干涉仪用软X射线分束镜的设计、制备与性能检测。基于分束镜反射率和透过率乘积最大的评价标准．设计了13．9nm软x射线激光干涉实验用多层膜分束镜。采用磁控溅射方法在有效面积为10mm×10mm、厚度为100nm的SiaN。基底上镀制了Mo／Si多层膜，制成了多层膜分束镜。利用X射线掠入射衍射的方法测量了Mo／Si多层膜的周期。用扩束He-Ne激光束进行的投影成像方法定性分析了分束镜的面形精度，利用光学轮廓仪完成了分束镜面形精确测量。利用北京同步辐射装置测量了分束镜反射率和