【摘 要】
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为探讨高熵氮化合金薄膜对车削刀具性能的提升及其应用潜力,采用高功率脉冲反应磁控溅镀(HIPIMS)技术在车刀刀片(TNMG160404R-UM T1200A)表面制作了(AlCrNbSiTiV)N薄膜,探讨
【机 构】
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东莞职业技术学院机电工程学院,龙华科技大学机械工程系
【基金项目】
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广东省教育厅2017年度项目(教育科研重大项目)(2017GGXJK097)
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为探讨高熵氮化合金薄膜对车削刀具性能的提升及其应用潜力,采用高功率脉冲反应磁控溅镀(HIPIMS)技术在车刀刀片(TNMG160404R-UM T1200A)表面制作了(AlCrNbSiTiV)N薄膜,探讨不同氮氩气比(0%、5%、10%、15%或20%)对(AlCrNbSiTiV)N薄膜的机械性能与微观结构的影响。采用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜的厚度、沉积速率、元素成分和相结构进行分析,用纳米压痕法测试了薄膜的硬度和弹性恢复性能。考察了车削工件表面的粗糙度和刀腹磨
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