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衍射效率对于二元光学元件是一个非常重要的概念,也是一个重要的器件性能指标.从理想的锯齿形相位轮廓入手,利用标量衍射理论,分析并导出锯齿形一维位相光栅的衍射效率的计算公式.进而讨论在二元光学技术中,以台阶状的轮廓逼近锯齿形相位轮廓的机制,构造台阶状光栅的相位轮廓函数,从而导出其透过函数和角谱,得出二元光学元件衍射效率的理论公式,并对不同台阶数的二元光学元件的衍射效率进行了计算.