用M-C方法计算低能V＋注入花生种子的深度-浓度分布

来源 :新疆大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：liuqin1225

【摘要】

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实验表明,低能重离子注入植物种子后的深度-浓度分布曲线是一个非对称高斯分布,直接用LSS理论计算该分布,与实验结果差别甚大.本文根据植物种子的结构特点,对靶材料进行了处

【作者】

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王林香王世亨

【机构】

：

新疆大学物理系

【出处】

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新疆大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

离子注入花生种子 LSS理论蒙特卡罗方法浓度-深度分布 ion implantation peanut seed LSS theory Monte-

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实验表明,低能重离子注入植物种子后的深度-浓度分布曲线是一个非对称高斯分布,直接用LSS理论计算该分布,与实验结果差别甚大.本文根据植物种子的结构特点,对靶材料进行了处理,并对LSS理论进行了修正,用M-C方法计算了初始能量为200keV的V+注入花生种子的深度-浓度分布,得到了与实验结果符合较好的分布曲线.

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