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针对目前珩磨加工领域面临的试验成本高、工艺参数优选困难的问题,提出一种精密孔珩磨加工仿真分析方法。首先分析了珩磨加工机理及仿真分析的力学基础,以某单体泵泵体柱塞孔为研究对象,构建了珩磨加工有限元模型,利用珩磨加工过程的有限元仿真分析对珩磨过程交叉网纹的形成以及珩磨尺寸精度提取的后处理方法进行了研究;最后结合具体研究对象进行了五种不同工艺方案的仿真分析对比,优选了工艺参数。文中研究成果可为精密孔珩磨加工技术提供理论指导。