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根据对编码水准标尺条纹图案的分布特征分析,并针对电子水准测量系统对标尺的精度要求,提出了一种多狭缝组合的光电显微镜瞄准检测标尺分划误差的方法。该方法中条纹图案由光学系统成像,并由前置多狭缝光阑的四象限光电池接收,光电池输出信号经处理后产生准确识别条纹中心的瞄准脉冲。该瞄准方法结合双频激光长度测量系统,可以实现编码标尺分划误差的动态检测,代替目前国内对编码水准标尺人工目视检测的过程。实验表明,该新型瞄准方法的瞄准精度优于2.0μm。