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本文介绍了采用微波表面波等离子体化学气相沉积（MWSurface-wavePECVD）的方法，在PET包装瓶内壁沉积一层类金刚石（Diamond-likeCarbon,DLC）薄膜，以改善其阻隔性能。实验过程中以乙炔（C2H2）作为原料、氩气（Ar）作为放电气体沉积DLC薄膜，并采用傅立叶红外光谱(FTIR)、拉曼光谱(RamanSpectra)等仪器辅助分析薄膜的结构、成分，通过测试PET瓶的氧气透过率（OTR）表征其阻隔性能。实验结果表明：采用微波表面波PECVD法在PET包装瓶内沉积纳米级厚度的DL