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采用固相陶瓷烧结法制备了Mn、Li共掺的ZnO稀磁半导体材料，实现了室温铁磁性。分别用XRD、XPS和VSM对各样品进行了结构测量和磁性能测量，分析了Mn、Li掺杂浓度对ZnO基稀磁半导体的影响。结果表明，在相同的外磁场下，随着Mn掺杂浓度的增加，陶瓷的磁化强度增大。但较高的Li掺杂浓度可能会形成更多填隙离子，减少空穴浓度，最终使材料的室温铁磁性变差。