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为了研究极紫外光源系统中收集镜的形状和液体微滴的漂移，计算了收集镜的参量，并采用ZEMAX模拟了液体微滴上下和左右漂移50μm，100μm，150μm时中间焦点的成像变化情况。结果表明，液体微滴在上下方向上的漂移对中间焦点成像的影响很大，应该尽量将上下漂移控制在20μm以下；而液滴在光轴方向上的漂移对中间焦点成像的影响稍小。