采用BCB平整技术的高速850nm垂直面发射激光器

来源 :中国光学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wang9230c

【摘要】

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垂直腔面发射激光器因其具有低阈值、低功耗、可实现高速调制等优势,广泛地应用于光通信和光互连等领域.寄生电容是影响激光器的调制带宽的主要因素之一.本文通过采用低k值的

【作者】

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何晓颖董建胡帅何艳吕本顺栾信信李冲胡安琪胡宗

【机构】

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北京邮电大学电子工程学院,信息光子学与光通信国家重点实验室,北京100876北京工业大学信息学部,北京,100124;

【出处】

：

中国光学

【发表日期】

：

2018年2期

【关键词】

：

垂直腔面发射激光器高速调制苯并环丁烯平整技术

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垂直腔面发射激光器因其具有低阈值、低功耗、可实现高速调制等优势,广泛地应用于光通信和光互连等领域.寄生电容是影响激光器的调制带宽的主要因素之一.本文通过采用低k值的苯并环丁烯(BCB)平整技术有效地降低了垂直腔面发射激光器的寄生电容.详细研究了BCB平整技术的最优工艺参数,为未来高速垂直腔面发射激光器的制造技术提供参考.低k值BCB平整垂直腔面发射激光器在7μm氧化孔径下3dB小信号调制带宽可达15.2GHz.

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