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用传统车削和磨削方法加工氮化硅陶瓷,难度大、加工效率低。为了提高难加工材料氮化硅陶瓷的加工精度,利用激光辅助复合加工技术,精确控制氮化硅表面激光结构化方案的尺寸,设计了4种具有相同表面积的不同氮化硅结构图案,研究了氮化硅图案几何形状对其磨削性能的影响,同时分析了砂轮转速、进给速率等磨削参数对磨削力的影响。结果发现:氮化硅的激光结构化工艺对其磨削结果有很大影响,其表面的凹槽有利于磨削液进入磨削区域,激光烧蚀则降低了氮化硅强度,磨削力最多可降低63%,可有效减少砂轮的磨损。为提高氮化硅陶瓷的加工精度,用激光辅