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[学位论文] 作者:牟宗信,, 来源:大连理工大学 年份:2006
非平衡磁控溅射沉积技术(Unbalanced Magnetron Sputtering,UMS)目前得到广泛关注,能够得到比较高的离子/原子到达比(Ion-to-atom Arrival Ratio,IAR),在相对较低的基体温度...
[期刊论文] 作者:赵凯, 牟宗信, 张家良,, 来源:物理学报 年份:2014
大气压介质阻挡放电(DBD)可以在常压下产生非平衡等离子体,已经成为热点研究领域.通过脉冲或交变电源激发放电,研究电源输出特性、电源与放电发生器负载间的匹配和外界条件对...
[期刊论文] 作者:郭海霞,梁成浩,牟宗信, 来源:大连理工大学学报 年份:2002
采用离子注入法对生物医用TiNi形状记忆合金及二种Co合金进行表面改性,利用电化学测试技术、动态凝血时间及溶血率的测量,研究了改性前后合金的耐蚀性及血液相容性. 结果表明...
[期刊论文] 作者:牟宗信,林国强,李国卿, 来源:大连理工大学学报 年份:2001
采用阴极电弧离子镀膜工艺制备Ti-Ni合金薄膜贮氢材料,用电化学方法研究这种材料的电化学贮氢性能,采用XRD方法研究贮氢薄膜在充放氢前后的结构变化,分析不同成分、基体对于...
[期刊论文] 作者:任春生,牟宗信,王友年, 来源:核技术 年份:2006
离子源技术是等离子体研究中的一项重要内容,而低能大束流源则是离子源技术研究中的一个重要方向,因为这样的源在离子束刻蚀、离子束溅射镀膜以及荷能粒子与物质相互作用方面都......
[会议论文] 作者:牟宗信, 李国卿, 关秉羽,, 来源: 年份:2004
物理气相沉积(PVD)硬质涂层可以提高工模具使用性能和寿命。沉积基体包括金属、陶瓷、塑料、玻璃等,从薄膜结构上可以分成梯度、超晶格、多层、多元薄膜等,电镀工艺给环...
[期刊论文] 作者:牟宗信,李国卿,黄开玉, 来源:核聚变与等离子体物理 年份:2004
采用激励电流可以调整的电磁线圈来激发非平衡磁场,调整约束磁场和放电空间等离子体状态.实验结果表明调整非平衡磁场显著影响系统的放电特性,使放电特性偏离常规的磁控溅射...
[期刊论文] 作者:王振伟,牟宗信,刘升光,, 来源:真空科学与技术学报 年份:2009
在反应溅射工艺中,反应气体流量和沉积速率、反应气体气压、靶电压之间存在迟滞关系。为了保证反应溅射稳定以及保持溅射率高和反应气体利用率高,需要对反应溅射系统进行精确控......
[期刊论文] 作者:牟宗信,李国卿,关秉羽, 来源:真空 年份:2002
对靶非平衡磁控溅射系统由两个相对磁控溅射靶和一个磁镜场约束系统构成 ,通过调整电磁线圈的激励电流可以控制磁镜场的空间分布状态 ,测量了合成磁场的空间分布状态。采用平...
[期刊论文] 作者:牟宗信,王振伟,刘升光,赵华玉, 来源:航空制造技术 年份:2007
在不同的氮气比例下,固定其他的放电条件,采用中频磁控测射沉积技术在常温下沉积AlNx薄膜.通过原子力显微镜研究了氮气比例对AlNx薄膜形貌和薄膜表面均方根粗糙度的影响....
[期刊论文] 作者:任春生,牟宗信,李国卿,钟溥, 来源:大连理工大学学报 年份:2002
在离子源的设计中,为了减少等离子体的器壁复合损失,经常采用磁场对等离子体进行约束;但磁场分布的复杂性,给实际测量带来了困难. 介绍采用磁荷法对低能辐照离子源中磁场分布...
[期刊论文] 作者:崔岩,牟宗信,邹学平,李国卿, 来源:核聚变与等离子体物理 年份:2002
利用离子束溅射沉积的方法在不同基片温度条件下制备了不同成分的Ti Ni贮氢薄膜 ,研究了其电化学贮氢性能。结果表明 :用离子束溅射沉积制备的Ti Ni薄膜的结构为非晶态 ,薄膜...
[期刊论文] 作者:王奇,王艳辉,牟宗信,赵纪军,, 来源:物理实验 年份:2017
磁控溅射镀膜实验涵盖了理工科大学生所认知的真空、高电压、材料制备等知识.结合大连理工大学国家级物理实验教学示范中心在探索研究性实验方面积累的教学经验与方法、等离...
[期刊论文] 作者:周长芳,钦佩,谢民,李国卿,牟宗信, 来源:植物生理学通讯 年份:2004
N+、Zn2+、Ar+离子束注入狐米草种子,其萌发率均明显降低.相同剂量,同种离子束抑制作用随加速电压(能量)的升高而加强.低能离子束对已萌发种子愈伤组织诱导率无显著影响,但能...
[期刊论文] 作者:刘升光,王艳辉,牟宗信,李雪春,, 来源:实验室研究与探索 年份:2017
实验数据实时检查分析在实验教学中起着非常关键的作用。通过实时数据分析可以及时发现学生实验当中存在的问题,并且可以对学生的实验成绩进行客观的评定。开发了基于WiFi无...
[期刊论文] 作者:牟宗信,李国卿,黄开玉,车德良, 来源:核聚变与等离子体物理 年份:2004
在非平衡磁控溅射沉积非磁性金属薄膜过程中,离子/原子到达比、沉积速率等参数是影响薄膜结构和性能的重要因素.根据非平衡磁控溅射沉积过程中离子的分布特点,分别考虑离子和...
[期刊论文] 作者:牟宗信,龙振湖,李国卿,关秉羽, 来源:核聚变与等离子体物理 年份:2005
设计和制造了适合工业应用的强流金属离子源.离子源的电弧阴、阳电极之间和放电室壁采用永磁体阵列形成导流、屏蔽磁场,改进了电弧的放电特性和提高等离子体密度.离子注入源...
[期刊论文] 作者:牟宗信,李国卿,柳翠,贾莉,张成武, 来源:真空科学与技术 年份:2003
在磁控溅射系统阴极靶施加同轴可调约束磁场显著改善了系统放电特性.研究了在Ar气放电系统伏安特性随不同的气压、溅射电压变化规律.采用同轴平面探针诊断距阴极60 mm、110 m...
[期刊论文] 作者:牟宗信,关秉羽,李国卿,宋林峰, 来源:真空 年份:2002
研究了调制磁场对于非平衡磁控溅射系统的作用 ,调制磁场可以使非平衡磁控溅射形成具有较高等离子体密度的等离子体束流 ,延伸到靶前 110 m m以上。在靶前 6 0~ 110 mm的位置...
[期刊论文] 作者:冯建基,李国卿,牟宗信,张长瑞, 来源:中国表面工程 年份:2004
从热力学、动力学和整体控速过程探讨了氮化硅陶瓷材料高温氧化理论和氧化性质,在空气中的热化过程,因为PO2>PsiO3是纯化氧化过程,氧化产物为SiO2和N2。氧扩散是控制氧化速度的...
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