三维表面微机械加工工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

三维表面微机械加工工艺相关论文

基于窄带水平集算法的三维表面工艺模拟系统

表面工艺是MEMS制造的一种重要方法,实现其加工过程的计算机仿真可以为相关MEMS工艺研究和器件开发提供技术支持,减少相关MEMS产品......

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MEMS 仿真系统三维表面微机械加工工艺窄带水平集 MEMS MEMS simulation system surface micromachining p

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