三自由度精密定位台相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

三自由度精密定位台相关论文

用于SEM纳米操作的粘滑型精密定位工作台的研究

基于SEM的纳米级操作机器人是指以SEM为本体并将纳米尺度物体作为操作对象的精密操作系统。由于SEM具有腔室空间大、实时图像反馈......

学位

粘滑驱动 SEM纳操作机器人三自由度精密定位台 LuGre动态摩擦模型压电陶瓷驱动器

看过本文同时还关注