本文利用中频脉冲磁控溅射技术制备铝掺杂氧化锌(AZO)透明导电薄膜,使用的是美国AE公司制造的中频脉冲电源,所用靶材为矩形AZO......

利用中频脉冲磁控溅射方法，以掺杂质量2％～的Zn（纯度99．99％）金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO：A1（ZAO）薄膜，利用湿法腐蚀方法，将平面ZAO薄膜在......

使用中频脉冲磁控溅射技术分别在Si(111) 、玻璃以及高速钢基底上沉积AlN薄膜. 利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜、紫外......

利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂（质量百分比2%）的Zn（纯度99.99%）金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO：Al（ZAO）薄膜.利用湿法腐蚀方法......

采用中频脉冲磁控溅射在不同衬底温度下制备了太阳电池铝背反射电极,利用X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜晶体结构,用X射线光电子谱仪(......

本文利用中频脉冲磁控溅射系统研究了应用于硅薄膜太阳能电池上的铝掺杂的氧化锌（ZAO）透明导电薄膜的制备和性能,主要内容如下: ......

本文利用中频脉冲磁控溅射技术,以掺杂Al 2wt%的Zn:Al合金靶为靶材,研究了用于硅薄膜太阳电池的ZnO:Al（ZAO）透明导电薄膜,主要完成了......

金属掺杂类金刚石薄膜具有高硬度、低摩擦系数、低磨损率等优点被广泛应用于抗摩擦领域中。传统磁控溅射存在靶材原子离化率低,反......