二硫化钼润滑膜相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

二硫化钼润滑膜相关论文

Ar^＋刻蚀对MoS2润滑膜分子结构的影响

采用Ar+离子溅射源进行XPS和AES 剖面分析，结果发现,Ar+对MoS2分子中的S原子产生“择优”选择刻蚀并随之生成非化学计量比的MoSx，Mo......

期刊

氩离子溅射择优刻蚀 XPS AES 二硫化钼润滑膜 ArgonCoatingsCrystal structureEtchingIon beam lithogr

看过本文同时还关注