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二维电容式传感器相关论文

硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试

设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器，并采用硅一玻璃静电键合、ICPT艺释放等技术完成T-维加速度......

期刊

MEMS加速度传感器二维电容式传感器体硅工艺 ICP深刻蚀 MEMS accelerometers biaxial capacitive sensors

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