A novel direct writing technique using submicron-diameter fibers is presented. This technique adopts contact mode in the......

提出了一种利用微纳光纤笔(MNFP)直接写入亚微米线条的技术,利用微纳光纤笔在光刻胶表面接触式扫描,从而曝光产生亚微米线条。热熔......

本论文在国内外首次提出了利用微纳光纤进行微触式直写曝光的新技术。实验结果表明,微纳光纤直写的分辨率可达350nm,如果是在不充......