位置敏感探测器（PSD）的特点是位置测量分辨力高，测量装置建立简单，测量结果比较直观。对PSD测量电路等效噪声进行测试分析，获得一系列模......

位置敏感探测器PSD（Position Sensitive Detector PSD）具有位置分辨精度高（可达1～2μm）、输出实时性好（响应时间约几微秒）、系统简洁的特......