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低温玻璃键合相关论文
MEMS耐高温压力传感器封装工艺研究
为解决特种压力传感器结构的封装难题,提出了三种能够适用于200℃高温条件下的先进封装技术。通过有限元模拟,确定了采用低温玻璃......
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