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低熔点玻璃浆料相关论文
基于玻璃网络结构控制的硅基材料基片低温键合机理研究
硅基材料是MEMS器件制造的重要材料,为了避免封装过程中高温工艺对器件的不利影响,该类材料的低温连接方法受到科研工作者的广泛关......
学位
低温键合
低熔点玻璃浆料
直接键合
硅基材料
表面活化
湿化学法
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