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MEMS器件具有重量轻、体积小和功耗低等优点，可以很好地满足航空飞行器的要求，而将基于MEMS的微型传感器集成用于检测飞行器蒙皮的相......
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压力传感器是一种重要的压力信号感测和能量转换装置。近两百年来，历经了机械式量测、非电量电测、微机械系统（MEMS）、光学压力传感器......
