光波导压力传感器相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

光波导压力传感器相关论文

基于MZI光波导MOEMS压力传感器的设计及特性研究

微光机电系统(MOEMS)是一门涉及微光学、微机械、微电子技术的新兴学科,由于采用了集成工艺制作技术,因此具有体积小、响应快、集......

学位

微光机电系统压力传感器马赫-曾德尔干涉仪光弹效应 ANSYS

硅微机械加工光波导压力传感器的设计

随着波导材料的研究和进展 ,采用新的波导材料设计出了一种波导式压力传感器 ,就光波导压力传感器的原理和特性作了一个简要阐述 ,......

期刊

光波导压力传感器硅微机械法结构原理特性

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