光电显微镜相关论文
针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波......
文章针对长度光栅测量系统的误差来源、特点提出了二次比对、拟合的修正方法。在文章所论述的方法中,通过光电显微镜、线纹尺、数......
光电显微镜具有很高的灵敏度,能够消除测量过程中的主观性,提高测量过程的自动化与准确度。为了提高光电显微镜的测量精度,本文采......
研究了激光干涉比长仪的动态光电显微镜刻线瞄准信号的处理方法。分析了基于硬件电路的信号处理方法,及基于高速A/D采样、计算机数......
以往介绍的动态光电显微镜瞄准技术,通常是指刻线单向运动时和固定狭缝的重复瞄准方法.而本文介绍的是指刻线在双向运动中可逆的重......
介绍了2m比长仪系统的组成，对其采用光电显微镜动态瞄准刻线和激光干涉测长原理进行了分析，研究了提高刻线瞄准精度和激光干涉测长精......
高等别线纹尺广泛用于精密加工及精密测量设备的定位、标定及校准等.为满足长三角地区高端装备制造业对高等别线纹尺的量值溯源需......
介绍了线纹对准技术的发展以及典型线的纹对准技术及方法,分析各种线纹对准的技术特点及其适用范围.刻线种类的多样性决定了对准方......
光电显微镜是应用于微小结构观察和非接触测量的高精度瞄准仪器,本课题设计了一套应用于比长仪的光电显微镜系统,可以对玻璃或金属......
介绍了用于检测光学度盘的动态光电显微镜的原理、光学系统、电子学系统及瞄准精度。...
一等环规测量仪是将激光干涉仪测长技术、静态光电显微镜瞄准技术和精密微位移定位技术 作为主体测量技术,以上三项技术的有机结合......
<正> 由于集成电路向高密度、大规模化发展,故对其光刻掩模精度的要求也越来越高。而不少地方超过了以往的掩模常规制作技术,因而......
光栅尺作为位移传感器,已广泛应用于精密测量仪器中,随着对测量精度要求的不断提高,对光栅尺的质量也提出了更高的要求。光栅的刻......
数字式测微光电显微镜谢长文，蒋廷槐，曹学东（中国科学院光电技术研究所）０引言随着现代科学技术的发展，用电表指示瞄准状态，调整读数鼓轮使......
