准分子激光晶化相关论文
对准分子激光晶化制备TFT用多晶硅薄膜的研究进展进行了综述。介绍了晶化过程中的超级横向生长现象。主要结合各种基于光束调制和......
低温多晶硅薄膜晶体管（LTPS-TFT）驱动技术是实现大尺寸全彩平板显示的必由之路。然而，传统的低温多晶硅薄膜制作工艺存在着工序复杂、......
目的增加准分子激光晶化最优能量密度的工艺窗口以及提高晶化后多晶硅晶粒尺寸的均匀性,并最终改善低温多晶硅薄膜晶体管(Low Temp......
低温多晶硅薄膜是制备高性能薄膜晶体管的首选材料,由其制成的薄膜晶体管由于在平板显示器件驱动中所展现的优越性能而受到广泛关......
