利用Kr F准分子激光器晶化非晶硅薄膜,研究了不同的激光能量密度和脉冲次数对非晶硅薄膜晶化效果的影响。利用X射线衍射(XRD)和扫......

介绍了多晶硅薄膜较非晶硅薄膜在平板显示领域的优势以及准分子激光晶化制备多晶硅膜的结晶过程。介绍了透镜阵列实现匀光的原理。......

本文对于P型准分子激光结晶(Excimer Laser Annealing,ELA)多晶硅薄膜晶体管(Thin Filml Transistor,TFT)和非晶铟镓锌氧化物(a-IG......

在有源矩阵液晶显示器和有源矩阵有机发光二极管显示器的工业化生产中,采用准分子激光退火技术制备多晶硅薄膜,以提高产品性能。设......

利用准分子激光退火(ELA)工艺制备多晶硅薄膜晶体管,多晶硅薄膜材料的形成受到激光能量密度的影响,包括缺陷的形成、少子的寿命以......

准分子激光线形光束在多晶硅薄膜的工业生产中有重要应用。基于自行研制的激光退火设备输出的线形XeCl准分子激光对等离子体增强化......