本文采用分离靶多弧离子镀技术 ,通过改变基片负偏压和分离靶弧电流等参数 ,在 310 SS(stainlesssteel)基片上制备了多种成分的 Nb......

采用分离靶多弧离子镀技术，通过改变基片负偏压和分离靶弧电流 以及镀膜时间等参数，在３１０ＳＳ（ｓｔａｉｎｌｅｓｓ ｓｔｅｅｌ）基片上制备了多种成分的 Ｎｂ１－ｘＡｌｘ （０．３８＜ｘ＜０．６４）合金薄膜。结果表明......