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基于双光栅尺的高速高精度跨尺度位移测量方法的研究
微纳米测量技术在微机电系统(MEMS)装配与集成、集成电路(IC)制造与封装、超精密加工等领域广泛应用,并朝着高速、高精度方向发展......
学位
双光栅尺
高速高精度
位移测量
切换合成
FPGA
基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法
提出了一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量方法。在分析光栅尺测量原理的基础上,探讨双光栅尺信号的切换合成;通过对莫尔条纹电......
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位移测量
双光栅尺
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FPGA
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