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太阳能多晶硅铸锭用熔融石英坩埚氮化硅涂层的制备
熔融石英坩埚是生产太阳能多晶硅铸锭的必要容器,为脱模方便,需在其内表面喷涂一层氮化硅.采用高纯氮化硅粉在国产石英坩埚上喷涂,......
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