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薄圆片石英晶体应力分布及谐振器力频实验
利用ANSYS有限元理论模型分析AT切石英晶体受沿X轴方向的对径力作用时晶片内的应力分布情况,并计算三电极位置处的应力变化比值。测......
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石英晶体
ANSYS分析
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力频灵敏度系数
应力分布
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