化学气相沉积碳化硅相关论文
为实现化学气相沉积碳化硅(CVD SiC)的超光滑抛光,采用纳米划痕试验研究了化学气相沉积碳化硅脆塑转变的临界载荷,根据单颗磨粒受......
针对化学气相沉积碳化硅平面反射镜的材料特性与技术要求,制定了"传统研抛+离子束抛光"的工艺方法,并在一块口径为100mm的试件上进......
采用化学气相沉积法（CVD）和刷涂法在C／SiC复合材料表面制备抗氧化涂层。该涂层由致密的CVDSiC层和多孑L的Mo—Si层交替组成，其结构从里......
利用在线电解修整镜面磨削和磁流变光整加工技术对化学气相沉积碳化硅反射镜进行纳米级精度的加工。首先进行在线电解修整磨削，使反......
