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卤化物气相外延(HVPE)相关论文
双腔CVD系统的研制及石墨烯上氮化镓生长行为的研究
GaN材料和石墨烯的研究与应用都是全球的前沿热点。一方面因为GaN材料作为第三代半导体材料在微电子器件、光电子器件的广泛应用。......
学位
氮化镓/石墨烯复合结构
卤化物气相外延(HVPE)
化学气相沉积(CVD)
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