卷绕型磁控溅射相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

卷绕型磁控溅射相关论文

磁控溅射法沉积纳米Cu薄膜的性能研究

采用卷绕型磁控溅射设备在涤纶（PET）针刺毡表面沉积了纳米结构Cu薄膜,利用X 射线衍射仪（XRD）对薄膜的组分和结晶状态进行了分析,用原子......

期刊

卷绕型磁控溅射纳米结构Cu薄膜 X射线衍射仪原子力显微镜(AFM) 导电性能 winding type magnetron sputteringnano-c

看过本文同时还关注