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由于金刚石薄膜具有优良的高温压阻特性,适合于制作高温压力传感器。在Φ50mm〈100〉硅单晶衬底上用热丝CVD法生长本征多晶金刚石......
在众多的MEMS器件中,应用最为广泛的一种的是硅微压力传感器。而随着传感器的不断发展和应用,与其相应的控制测量技术越来越受到重......
