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压电薄膜泵相关论文
单振子双腔体压电薄膜泵的研究
利用雕刻技术,以有机玻璃为原材料,加工制作了一种可双向工作的单振子双腔体压电薄膜泵,并对该结构压电泵的工作原理进行了阐述.通过对......
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压电薄膜泵
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球阀式压电薄膜泵的初步研究
提出一种新结构的球阀式压电泵,分析了球阀式压电薄膜泵的工作原理,设计、制作了样机,对球阀式压电泵的电压工作特性以及频率工作......
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