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双浅沟槽刻蚀工艺相关论文
北微设备55纳米浅沟槽刻蚀工艺开发与其在量产中的应用
长期以来,我国集成电路行业从工艺、设备到材料都严重依赖进口。国家集成电路“十三五”规划明确提出重点发展国产关键工艺设备的......
学位
双浅沟槽刻蚀工艺
双倾角形貌
稀疏/密集负载效应
有源区曲率半径
器件漏电流
残留缺陷
静电吸盘
全氟树脂密封材料
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