反射叠栅信号相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

反射叠栅信号相关论文

采用反射叠栅信号的超精密定位技术研究

在光学理论基础上，对反射型双光栅检测系统进行了研究。建立了以反射叠栅信号及其相应位移为对象的数学模型，并利用Matlab 软件对反......

期刊

几何光学超精密定位反射叠栅信号模糊径向基函数神经网络比例积分微分控制 geometric optics ultra-precision position

反射式超精密定位技术的研究

精密定位技术是微型机械、精密加工、半导体器件制造业、电子产品组装生产线、生物工程及纳米技术研究领域的基础性关键性技术。同......

学位

精密定位反射叠栅信号宏/微定位系统模糊控制神经网络

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