含氢类金刚石薄膜相关论文
利用中频非平衡磁控溅射技术,以氩气和甲烷混合气体为工作气体,在载玻片和单晶硅片上沉积含氢的类金刚石薄膜。改变加载在基体上的......
利用非平衡磁控溅射技术制备类金刚石薄膜时,在放电气体中引入含-CH3原子团的甲烷气体,即采用反应磁控溅射技术得到含氢DLC薄膜,实......
