四氟化碳相关论文
四氟化碳（CF4）是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一。在电子级CF4的制备工艺流程中，精馏提纯技术是CF4气体纯度能否达到电子......
四氟化碳(CF4)是现代工业生产过程中排放的气态污染物质，由于CF4在大气中具有较长的存在年限和强烈的红外吸收能力，因而直接排放到大......
六氟化硫(SF6)气体在电弧、电火花和电晕放电的作用下会发生分解,产生二氧化硫(SO2)、四氟化碳(CF4)等分解产物。检测SF6分解产物(......
随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四......
本文介绍了六氟化钨的性质、应用及目前的发展状况,针对六氟化钨区别于其它电子气体的特殊性质,综述了对其中所含气体杂质和金属粒......
本文对全氟烃(PFCs)气体的特性及其对全球温室效应产生的巨大影响进行了阐述，综述了目前全球各国限制全氟烃排放的控制方法。本文利......
SF_6气体因其优良的绝缘性能和良好的开断能力而在电力系统中得到了广泛的应用。但是,由于其液化温度高,且具有极高的温室效应指数......
本文简要介绍了四氟化碳的物理和化学性质及其应用，四氟化碳反应粗气的组成及其物化参数。重点分析了四氟化碳粗气纯化的工艺原理，提......
四氟化碳（CF4）是一种无毒、不燃性气体，是电子工业中重要的等离子体蚀刻气体，主要用于硅、二氧化硅、氮化硅等薄膜材料的蚀刻。此外，在......
利用SF6局部放电分解组分的特点能够很好地监测GIS内部绝缘状态.为此,采用傅立叶变换红外吸收光谱法(FTIR)来对SF6分解组分进行检......
苦豆子生物碱(总碱)对四氯化碳、D-半乳糖氨所导致的化学性肝损伤和卡介苗加脂多糖引起的免疫性肝损伤均有保护作用,可降低三种肝......
运用表面化学基本原理，通过建立气化相变模型，对四氟化碳的摩尔气化热进行了理论推算，所得结果与文献实验值基本吻合．并就类似结构化合......
讨论了利用等离子体技术净化CF4及其生成物的方法，分析了净化机理。由四极质谱仪的分析结果发现，CF4等生成物的谱峰强度随射频(RF)功......
建立了气相色谱质谱联用法测定高纯氪及高纯氙中的四氟化碳、六氟乙烷和八氟丙烷的方法。采用选择性离子监测(SIM)模式,以m/z 69 ......
为提高大气压下微波等离子体分解CF4过程的能量效率,降低副产物NOx的生成,采用微波等离子体后端添加Ag/Al2O3催化剂的方法,研究了......
为提高电极的应用时间、提高电解槽的电流效率、降低镍对电解质的污染和降低生产成本，将现行制备三氟化氮（NF3）的阳极材料由镍换为碳......
不同聚合物经ＣＦ４／ＣＨ４等离子体处理后，在浸水过程中表面动力学衰减常数对温度通过Ａｒｒｈｅｎｉｕｓ关系作图，对于所研究的聚合物都有一个明显的转折点。转折点......
采用氦离子检测器（PDHID）及以热导检测器（TCD）与火焰离子化检测器（FID）组合的两种不同气相色谱分析方法测定四氟化碳（CF4）中的杂质,结果表......
阐述了采用气相色谱法加中心切割、反吹的方法测定高纯四氟化碳中的微量三氟化氮杂质,此方法可靠,操作简单。通过多次实验对过程中......
为满足年产100t四氟化碳的需要，须对水洗塔进行设计，用以除去混合气中的酸性杂质。实际运行证明，喷淋水洗塔可以满足四氟化碳生产的需......
四氟化碳(CF4)因其具有廉价性与较高的碳氟比在半导体和冶铝工业、材料改性、刻蚀等领域具有广泛的应用。但是随着CF4的多方面应用......
本文利用色谱/质谱联用技术对NF3中微量CF4进行了测定.采用选择离子监测(SIM)方式测定,定量选择离子m/z为69,方法简单、准确、选择......
建立了气相色谱-电子捕获检测器测定环境空气中四氟化碳和六氟乙烷的检测方法。样品经铝塑复合膜气体采样袋现场采集后直接进样分......
极大规模集成电路行业所需的高纯度气体有了新着落。"我们承担的国家科技重大专项‘极大规模集成电路制造装备与成套工艺’中的‘......
目前,黎明院高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,价格与进口同类产品相当,但性价比高,可完全实现对进口产品的替代。由中国......
膜蒸馏是一种低能耗、高效率的海水淡化技术．文章借鉴了制备压力推动膜材料的思路，采用非对称、孔结构高度连通的亲水聚醚砜膜，通过CF......
介绍了一种利用氦离子化检测器（DID）分析高纯四氟化碳中微量氧气、氮气、二氧化碳和六氟乙烷的方法。利用阀切割技术能够将大量的四......
随着现代工业的发展,温室气体排放与日俱增。在众多温室气体中,全氟化碳（PFCs）因其具有低毒、化学性质稳定等特点,被广泛应用于工业......
饮用水中的卤代烃会对人体产生危害。为保证饮用水水质的安全，本文就臬部驻京单位饮用水中三氯甲烷和四氯化碳的浓度进行了连续5年......
论述了氦中氪、四氟化碳气体标准物质的制备方法、稳定性参考值、不确定度计算，证明达到国家二级气体标准物质要求。研制方法可行，量......
随着半导体产业的迅猛发展,对高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而,有关生产高纯CF4的技术报道较少,限制了微电子产业的发展进......
四氟化碳（CF4）是现代工业生产过程中排放的气态污染物质,由于CF4在大气中具有较长的存在年限和强烈的红外吸收能力,因而直接排放到大......
电解法制得的氟气含有氮气、氟化氢和四氟化碳等杂质。利用氯化钠与氟气反应生成氯气，经NaOH溶液吸收氯气后用普通的气相色谱测定其......
六氟化硫(SF6)气体在电弧、电火花和电晕放电的作用下会发生分解,产生二氧化硫(SO2)、四氟化碳(CF4)等分解产物。检测SF6分解产物(......
随着电力技术的发展,SF6电气设备得到了广泛的应用,除了SF6断路器,GIS(gas insulated switchgear)封闭组合电器外,现在又出现了SF6......
采用等离子体活化的方法，使用四氟化碳（CF4）气体，对印刷线路板常用基材聚酰亚胺薄膜进行了处理，将含氟基团引入到聚酰亚胺薄膜表面。通......
讨论了通过低温加压精馏(-60℃、2 0MPa)除去四氟化碳中六氟乙烷等氟碳杂质,以达到4N级四氟化碳对氟碳杂质浓度的要求。......
