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ZnO薄膜肖特基二极管的研制
采用直流反应磁控溅射的方法,在Al/Si(100)衬底上沉积了ZnO晶体薄膜.利用Al和Pt作为与ZnO接触的欧姆电极与肖特基电极,制作了ZnO薄......
期刊
ZNO薄膜
Al/Si(100)衬底
基特基势垒
ZnO thin film
Al/Si (100) substrate
Schottky barrier
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